SISTEMA AUTOMATIZADO PARA DEPOSIÇÃO DE FILMES POR SPRAY PIRÓLISE PARA FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS MULTICAMADAS

IPC Classification

Abstract

A presente patente de invenção refere-se a um sistema automatizado controlado pela integração de um computador pessoal (PC) e um microcontrolador, que assegura a movimentação tridimensional do atomizador em relação ao substrato durante a deposição, ao passo que executa o controle da temperatura do substrato e do fluxo da solução precursora. Além disso, este sistema pode controlar simultaneamente ou individualmente o fluxo de várias e diferentes soluções precursoras. Como principais características deste sistema pode-se citar: garantia na reprodutibilidade dos filmes; possibilidade de alteração do fluxo de solução precursora com precisão durante a deposição do filme; possibilidade de realizar intervalos controlados, permitindo períodos de pré-secagem durante a deposição; produção de filmes multicamadas; deposição de filmes com transição gradual de concentração e/ou de composição e densidade de forma contínua ou em degrau. O sistema automatizado, objeto da presente patente de invenção, permite a fabricação de dispositivos multicamadas como a Pilha a Combustível de Óxido Sólido para operação em Temperatura Intermediária (PaCOS-TI), Células solares, e sensores baseados na tecnologia de filmes e, portanto, destina-se aos setores de Materiais e Meio Ambiente, Materiais Cerâmicos e Fontes Alternativas de Energia da área de Engenharia e Ciência dos Materiais.