PROCESSO PARA MANUFATURAR UMA ESTRUTURA DE GUIA DE ONDA ÓPTICA INDIFUSA EM UM SUBSTRATO, GUIA DE ONDA ÓPTICA INDIFUSA, DISPOSITIVO ÓPTICO INTEGRADO, CONVERSOR DO MODO E COMUTADOR E FILTRO ACÚSTICO-ÓPTICO, E, DIVISOR DE POTÊNCIA ACÚSTICO E DE POLARIZAÇÃO

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

"PROCESSO PARA MANUFATURAR UMA ESTRUTURA DE GUIA DE ONDA ÓPTICA INDIFUSA EM UM SUBSTRATO, GUIA DE ONDA ÓPTICA INDIFUSA, DISPOSITIVO ÓPTICO INTEGRADO, CONVERSOR DO MODO E COMUTADOR E FILTRO ACÚSTICO-ÓPTICO, E, DIVISOR DE POTÊNCIA ACÚSTICO E DE POLARIZAÇÃO". A invenção refere-se a um processo de manufaturar uma guia de onda óptica indifusa ( 6 ) em um substrato ( 1 ). Uma camada metálica ( 7 ) e um fotorresistor ( 8 ) são depositados sobre um substrato ( 1 ) nesta ordem. Partes do fotorresistor ( 8 ) são removidas de modo que uma estrutura do fotorresistor ( 8 ), correspondendo à estrutura da guia de onda desejada, seja deixada. As partes expostas da camada metálica ( 7 ) são removidas por uma técnica de cauterização químico/física, após o que o fotorresistor remanescente ( 8 ) é removido e a camada metálica remanescente ( 7 ) é difundida dentro do substrato ( 1 ) por um tratamento térmico. O uso de um processo de cauterização químico/física, para remover partes da camada metálica ( 7 ), resulta em menores variações da largura da guia de onda após indifusão. Tais guias de onda são particularmente vantajosas quando sendo usadas em conexão com dispositivos acústico-ópticos. As guias de onda ópticas, de acordo com a invenção, são também utilizáveis com outros dispositivos ópticos integrados.