MÉTODO PARA DEPOSIÇÃO DE REVESTIMENTOS DE ALUMINA FINAMENTE DIVIDIDA SOBRE FERRAMENTAS DE CORTE

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

"MÉTODO PARA DEPOSIÇÃO DE REVESTIMENTOS DE ALUMINA FINAMENTE DIVIDIDA SOBRE FERRAMENTAS DE CORTE" A presente invenção se refere a um método de Deposição Química de Vapor por Plasma Ativado (PACVD) para o revestimento de ferramentas de corte baseadas em metal duro ou cermeto sinterizado, cerâmicas ou aço de alta velocidade, com um revestimento finamente granulado (5 nm a 200 nm) de -Al~ 2~O~ 3~ e/ou -Al~ 2~O~ 3~ com uma dureza (resistência) maior do que ou igual a 19 Gpa, o referido método compreendendo o plasma sendo produzido pela aplicação de uma voltagem DC de pulso bipolar entre dois eletrodos ou dois conjuntos de eletrodos aos quais os corpos de substrato a serem revestidos são posicionados fixos e eletricamente conectados, onde os referidos eletrodos ou os conjuntos de eletrodos agem alternativamente como o(s) anodo(s) ou o(s) catodo(s), e onde os reagentes químicos são AlCl~ 3~, H~ 2~ e Argônio juntamente com um doador de oxigênio escolhido de O~ 2~, CO~ 2~, CO ou NO~ 2~, onde a freqüência de pulso é ajustada entre 5 kHz e 100 kHz, preferivelmente entre 8 kHz e 20 kHz, onde as amplitudes de pulso são ajustadas na faixa de 300 Volts a 1.000 Volts, preferivelmente na faixa de 600 Volts e 900 Volts e onde a temperatura de substrato está na faixa de 500 °C a 800 °C, preferivelmente 550 °C a 650 °C, dependendo do material do corpo de ferramenta sendo revestido.