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Dado oficial do INPI

PROCESSO DE DECAPAGEM E LIMPEZA DE FEOL, PARA REMOVER O FOTORESISTOR IMPLANTADO COM ÍONS, NÃO-DECAPADO DE UM SUBSTRATO DE LÂMINAS DE SILÍCIO

Arquivada/ExtintaPatente de InvençãoPCT · US2006008829

Dados do pedido

Número

PI0609587

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

13/03/2006

Publicação

20/04/2010

PCT

US2006008829

Andamento no INPI

  1. Depósito13/03/06
  2. Publicação20/04/10
  3. Arquivado
  4. Deferimento
  5. Concessão
  6. Em vigor

Pedido arquivado por falta de pagamento das anuidades (art. 86 da LPI). A tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 11/02/2014. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

Avantor Performance Materials, Inc.

US

MALLINCKRODT BAKER, INC.

US

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Inventores

S. K. (pessoa física)

US

S. L. (pessoa física)

US

Dados técnicos

Prioridades unionistas

US

60/667,932 · 04/04/2005

Resumo técnico

PROCESSO DE DECAPAGEM E LIMPEZA DE FEOL, PARA REMOVER O FOTORESISTOR IMPLANTADO COM ÍONS, NÃO-DECAPADO DE UM SUBSTRATO DE LÂMINAS DE SÍLICIO. A presente invenção refere-se a uma composição de decapagem e limpeza na extremidade frontal da linha, para remover fotoresistor implantado com lons, não-decapado, de um substrato de lâmina de silício, compreendendo: (a) pelo menos um solvente orgânico de decapagem; (b) lons fluoreto de pelo menos um entre fluoreto de amônio, bifluoreto de amônio ou fluoreto de hidrogênio; (c) pelo menos um agente acidificante selecionado entre ácidos inorgânicos ou orgânicos; e (d) água, sendo que um agente oxidante também está opcionalmente presente na composição.

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Arquivamento definitivo por descumprimento

#8.11

Referente ao despacho 8.6 publicado na RPI 2212 de 28/05/2013.

11/02/2014

RPI 2249

Arquivamento por falta de pagamento

#8.6

Referente á 7ª anui dade.

28/05/2013

RPI 2212

Alteração de nome deferida

#25.4

Nome Alterado de: Mallinckrodt Baker, Inc.

09/08/2011

RPI 2118

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

20/04/2010

RPI 2050

Monitoramento de patentes

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