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Dado oficial do INPI

MÉTODOS PARA A FORMAÇÃO DE FILMES DE ALFA E BETA TÂNTALO COM MICROESTRUTURAS CONTROLADAS

Arquivada/ExtintaPatente de InvençãoPCT · US2005009763

Dados do pedido

Número

PI0509189

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

24/03/2005

Publicação

25/09/2007

PCT

US2005009763

Andamento no INPI

  1. Depósito24/03/05
  2. Publicação25/09/07
  3. Arquivado
  4. Deferimento
  5. Concessão
  6. Em vigor

Pedido arquivado por falta de pagamento das anuidades (art. 86 da LPI). A tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 09/10/2012. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

H.C. Starck, INC.

US

N. U. (pessoa física)

US

Ver toda a carteira desta empresa

Inventores

J. N. (pessoa física)

US

P. K. (pessoa física)

US

R. W. (pessoa física)

US

Dados técnicos

Prioridades unionistas

US

60/555,759 · 24/03/2004

Resumo técnico

MÉTODOS PARA A FORMAÇÃO DE FILMES DE ALFA E BETA TÂNTALO COM MICROESTRUTURAS CONTROLADAS. A presente invenção refere-se a filmes de tântalo finos que tem novas microestruturas. Os filmes tem microestruturas, tais como cristalinas, de cristal único e amorfas. Estes filmes provêem excelentes propriedades debarreira de difusão e são úteis nos dispositivos microeletrônicos. Métodos para formar os filmes que utilizam os métodos de deposição de laser pulsado (PLD) e de epitaxia de feixe molecular (MBE) são também providos, como são os dispositivos microeletrônicos que incorporam estes filmes.

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Arquivamento definitivo por descumprimento

#8.11

Referente ao despacho 8.6 publicado na RPI 2158 de 15/05/2012.

09/10/2012

RPI 2179

Arquivamento por falta de pagamento

#8.6

Referente às 5ª, 6ª e 7ª anuidades.

15/05/2012

RPI 2158

Notificação de entrada na fase nacional - PCT

#1.3

25/09/2007

RPI 1916

Monitoramento de patentes

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