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Dado oficial do INPI

PROCESSOS DE FABRICAÇÃO DE MODULADORES INTERFEROMÉTRICOS POR REMOÇÃO SELETIVA DE UM MATERIAL

ArquivadaPatente de Invenção

Dados do pedido

Número

PI0503888

Tipo

Patente de Invenção

Depósito

27/09/2005

Publicação

09/05/2006

Andamento no INPI

  1. Depósito27/09/05
  2. Publicação09/05/06
  3. Arquivado
  4. Deferimento
  5. Concessão
  6. Em vigor

Pedido arquivado: o exame técnico não foi requerido nos 36 meses seguintes ao depósito de 27/09/2005, prazo do art. 33 da LPI. A tecnologia está em domínio público no Brasil.

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Última movimentação publicada pelo INPI: 25/05/2010. Atualizamos a cada nova RPI, publicada semanalmente.

Depositantes e inventores

Depositantes

IDC, LLC

US

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Inventores

M. K. (pessoa física)

US

M. T. (pessoa física)

US

W. C. (pessoa física)

US

Dados técnicos

Classificação IPC

Prioridades unionistas

US

11/090,552 · 25/03/2005

US

11/090,778 · 25/03/2005

US

60/613,401 · 27/09/2004

Resumo técnico

"PROCESSOS DE FABRICAÇÃO DE MODULADORES INTERFEROMÉTRICOS POR REMOÇÃO SELETIVA DE UM MATERIAL". Métodos para produção de dispositivos MEMS, tais como moduladores interferométricos, envolvem a remoção seletiva de uma porção de sacrifício de um material, para formar uma cavidade interna, deixando ficar uma porção remanescente do material, para formar uma estrutura de haste. O material pode ser depositado como cobertura e alterado seletivamente, para definir as, porções de sacrifício, que são removíveis seletivamente relativas às porções remanescentes. Alternativamente, uma camada de material pode ser removida lateralmente das aberturas em uma camada de cobertura. Esses métodos podem ser usados para produzir moduladores interferométricos não liberados e liberados.

Histórico de despachos

Publicações na Revista da Propriedade Industrial (RPI).

Arquivamento definitivo - Art. 33 da LPI

#11.1.1

25/05/2010

RPI 2055

Arquivamento - Art. 33 da LPI

#11.1

08/12/2009

RPI 2031

Publicação do pedido de patente

#3.1

09/05/2006

RPI 1844

Pedido de patente depositado

#2.1

08/11/2005

RPI 1818

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