PROCESSO PARA AUMENTAR O RENDIMENTO E/OU A VIDA ÚTIL DE PISTÕES

Classificação IPC

Prioridades unionistas

Resumo técnico

A presente invenção refere-se a um processo para aumentar o rendimento e/ou a vida útil de êmbolos, sendo que - durante o revestimento, pelo menos uma fonte de revestimento PVD com target (101), disposta em uma parede da câmara de revestimento é operada pelo menos temporariamente, a superfície do target (103) a ser evaporada é colocada pelo menos na maior parte paralelamente ao eixo vertical, e as partes da superfície (144, 145A, 145B) a serem revestidas são posicionadas, com a ajuda do dispositivo de fixação, pelo menos temporariamente na frente da superfície do target na área de revestimento (103), e - por meio de um sistema de rotação que ao mesmo tempo é executado como um sistema de acoplamento (126), ou que é disposto no sistema de acoplamento (126), ou que é executado como parte integrante do sistema de acoplamento (126), o assento de substrato (130) é colocado em movimento de rotação pelo menos periodicamente no seu próprio eixo de rotação (G), e o eixo de rotação (G) forma com o eixo vertical um ângulo a superior a 10° e inferior a 180°, de tal modo que cada parte das diversas partes da superfície (144, 145A, 145B) é atingida por material de revestimento (102) pelo menos uma vez.