SISTEMA DE COMPUTAÇÃO PARA PREVISÃO DE TEMPERATURAS DE SUBSTRATO DURANTE OPERAÇÃO DE LASER

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Abstract

SISTEMA DE COMPUTAÇÃO PARA PREVISÃO DE TEMPERATURAS DE SUBSTRATO DURANTE OPERAÇÃO DE LASER. A presente invenção refere-se a um sistema de computação (22) insere parâmetros (30A, 30B) de um laser e um substrato (12) a ser submetido à operação do laser para uma porção de estágio de ablação (32A) de um modelo (32) para calcular um primeiro segmento de operação do laser. O cálculo produz uma geometria atualizada (36) do substrato (12) após uma ablação prevista de material do substrato (12) por meio de pelo menos um pulso de laser e um valor de temperatura atualizado (38) do substrato (12) após ser submetido a pelo menos um pulso de laser. O sistema (22) insere os valores atualizados (36,38) para uma porção de estágio termodinâmico (32B) do modelo (32) para calcular um segundo segmento de operação do laser que produz um valor de temperatura atualizado (40) do substrato (12) após a transferência de calor através do substrato (12) e do substrato (12) para o ar ambiente, e alterna iterativamente entre as porções de estágio de ablação e termodinâmico (32B)s por meio de um segmento final de operação do laser para produzir um valor de temperatura final previsto (44) do substrato (12).