PROCESSO DE PRODUÇÃO DE FILMES GRAFÍTICOS ULTRAFINOS E FILMES GRAFÍTICOS ULTRAFINOS ASSIM OBTIDOS

IPC Classification

Abstract

PROCESSO DE PRODUÇÃO DE FILMES GRAFÍTICOS ULTRAFINOS E FILMES GRAFÍTICOS ULTRAFINOS ASSIM OBTIDOS. A presente invenção se refere a um processo de produção de filmes grafíticos finos e ultrafinos estáveis em substratos. Os filmes grafíticos podem ser fabricados com espessuras de nanômetros até micrômetros e, através do controle de deposição, possuem características elétricas sintonizáveis. Os filmes fabricados atingiram alto grau de transmitância e condutividade elétrica, além de exibir anisotropia elétrica. Entre as áreas de aplicação da invenção estão as indústrias de micro e nanoeletrônica, além da fotovoltaica e fotônica.