Classe 9
Aparelhos e equipamentos elétricos de controle de processo e armazenagem de gases, incluindo gases de alta pureza e ultra-alta pureza, e softwares e sistemas de controle de processo, para acondicionamento, armazenagem, monitoração, remessa e gestão de gases para as indústrias eletrônicas, de semicondutores e microeletromecânicasaparelhos e sistemas, incluindo respectivos controles eletrônicos e programas de computador, para armazenamento, monitoração, manipulação, remessa, distribuição e contenção pós-vazamento de produtos químicos, composições químicas, lamas de planarização químico-mecânica, soluções para remoção de resíduos químicos, gases e materiais nas indústrias eletrônicas, de semicondutores e microeletromecânicas