Classe 9
Aparelhos e equipamentos elétricos de controle de processo e armazenagem de gases, incluindo gases de alta pureza e ultra-alta pureza, e softwares e sistemas de controle deprocesso, para acondicionamento, armazenagem, monitoração, remessa e gestão de gasespara as indústrias eletrônicas, de semicondutores e microeletromecânicasaparelhos esistemas, incluindo respectivos controles eletrônicos e programas de computador, paraarmazenamento, monitoração, manipulação, remessa, distribuição e contenção pós-vazamentode produtos químicos, composições químicas, lamas de planarização químicomecânica, soluções para remoção de resíduos químicos, gases e materiais nas indústriaseletrônicas, de semicondutores e microeletromecânicas