APARELHO E PROCESSO PARA REDUÇÃO DE PRESSÃO EM VÁRIAS ETAPAS

IPC Classification

Priority claims

Abstract

"APARELHO E PROCESSO PARA REDUÇÃO DE PRESSÃO EM VÁRIAS ETAPAS". É apresentado um aparelho para reduzir a pressão em várias etapas no interior de um módulo que exige um vácuo. A peça para reduzir a pressão no interior do módulo tem uma bomba de vácuo para reduzir pela primeira vez a pressão no interior do módulo, e uma bomba reforçadora para reduzir pela segunda vez a pressão no interior do módulo quando a pressão interna do módulo atinge uma primeira pressão predeterminada. A redução da pressão no módulo é efetuada automaticamente, e quando a redução da pressão é completada, a pressão interna do módulo é comparada com uma segunda pressão predeterminada, e deste modo é exibido se o tratamento a vácuo é normalmente efetuado ou não. A redução de pressão é automaticamente efetuada em um tempo curto, o número de operadores é reduzido e o custo de fabricação do módulo é reduzido.