REVESTIMENTOS, PROCESSOS E APARELHO PARA REDUZIR A REFLEXÃO DE SUBSTRATOS ÓPTICOS.

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção: "REVESTIMENTOS, PROCESSOS E APARELHO PARA REDUZIR A REFLEXÃO DE SUBSTRATOS ÓPTICOS" . Processo para o revestimento de substratos ópticos com revestimentos anti-reflexão (AR) é descrito. A espessura e a composição do revestimento são determinadas por minimização do produto dos coeficientes de reflexão Fresnel para um revestimento com a sensibilidade dependente angular e comprimento de onda do sistema visual humano para minimizar a refletância percebida para o artigo revestido. Uma câmara compacta é evacuada e varrida com gás quimicamente inerte como argônio ou nitrogênio. Um ou mais precursores moleculares são depositados usando deposição de vapor químico, melhorado com plasma, (PECVD) para formar filmes AR. Os revestimentos de AR de camada única com base em filmes de fluoropolímero de espessura controlada, assim como multicamadas orgânicas, organossilício e/ou inorgânicas são descritos. Também é provido um processo para monitorar oticamente o crescimento do filme, usando diodo emissor de luz polarizada, um filtro óptico polarizante, e um fotodiodo. A retroalimentação do monitor é usada para controlar o fluxo do precursor para produzir camadas únicas e múltiplas camadas com propriedades anti-reflexão prescritas.