MICROSCÓPIO ELETRÔNICO DE ESCANEAMENTO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de Invenção: "MICROSCÓPIO ELETRÔNICO DE ESCANEAMENTO" . Microcópio eletrônico de escapamento que tem meios (1, 3) para a geração de um feixe de elétrons que é escaneado sobre um espécime (11) mantido dentro de um suporte (12) em uma câmara (5) que contém um meio gasoso. Um potencial negativo é aplicado ao suporte (12) de modo a gerar um campo elétrico que acelera elétrons secundários formados pela interação do feixe primário com o espécime (11), em uma direção para fora da superfície do espécime e para dentro de uma zona de colisão (21) na câmara. Naquela zona, os elétrons secundários acelerados colidem com moléculas de gás do meio gasoso, assim iniciando uma cascata de colisões que, de fato, amplificam o sinal eletrônico secundário. Este sinal (que pode tomar a forma de fótons gerados como resultado das colisões) é detectado por um meio de detecção (10, 7) tal como um fotomultiplicador.