PROCESSO DE UTILIZAÇÃO DAS PROPRIEDADES EXPANSIVO-CONTRÁCTEIS DE POLÍMEROS EM MICROFOTOLITOGRAFIA

IPC Classification

Abstract

Patente de invenção "PROCESSO DE UTILIZAÇÃO DAS PROPRIEDADES EXPANSIVO-CONTRÁCTEIS DE POLÍMEROS EM MICROFOTOLITOGRAFIA". O objeto desta patente é proteger um novo processo para microfotolitografia fundamentando-se na utilização das propriedades mecânicas dos polímeros. Isto poderia ser efetuado por meio do efeito de "memória" em um plastômero expandido ou resiliência quando aplicado um elastério a um elastômero. E consistiria na aplicação de irradiação em seu comprimento típico para fins microfotolitográficos em um polímero expandido, o que acarretará no excitamento de um menor número de moléculas sensíveis por unidade de área devido a esta expansão (estas moléculas sensíveis poderiam estar adsorvidas à superfície ou fazendo parte da estrutura molecular deste polímero a depender da natureza do mesmo e da técnica utilizada), possibilitando uma compactação de geometrias com a contração deste polímero seja por aquecimento (no plastômero) ou pela supressão do esforço tênsil em um elastômero. Tendo por conseguinte um fator de redução nas geometrias diretamente proporcional à variação de expansão e contração. Redundando em aumento de velocidade e diminuição da potência consumida nos dispositivos usuais quando o processo proposto for conjugado à fabricação dos mesmos.