CONJUNTO DE M X N ESPELHOS ATUADOS POR FILME FINO, NO QUAL M E N SÃO NÚMEROS INTEIROS, PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA; E PROCESSO PARA FABRICAÇÃO DE M X N ESPELHOS ATUADOS POR FILME FINO, PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA

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Abstract

Patente de Invenção: "CONJUNTO DE M X N ESPELHOS ATUADOS POR FILME FINO, NO QUAL M E N SÃO NÚMEROS INTEIROS, PARA USOS EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA; E PROCESSO PARA FABRICAÇÃO DE M X N ESPELHOS ATUADOS POR FILME FINO, PARA USOS EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓTICA". Um conjunto de M x N espelhos atuados (51), par uso em um sistema de projeção ótica, compeende uma matriz ativa (52), um conjunto de M x N elementos elásticos (54), um conjunto de M x N pares de estruturas de atuação (59), um conjunto de M x N espelhos (62) e um conjunto de M x N pares de elementos de suporte (60). Cada um dos elementos elaásticos (54) é proporcionado com extremidade distral e proximal, a extremidade proximal incluindo primeira e segunda partes abas, as primeira e segunda partes abas sendo separadas por um retração entre elas, a extremidades distal incluindo uma protuberância. A protuberância de cada um dos elementos elásticos se estende na retração de um elemento elástico secessivo no conjunto. Cada uma das estruturas de atuação (57) é localizada sobre as primeiras e segunda partes abas, sobre cada um dos elementos (54), respectivamente, em que cada uma das estruturas de atuação inclui um eletrodo de polarização, um eletrodo de sinal e uma camada de indução de movimento entre elas. Cada um dos espelhos (51) é fomado sobre a parte de todo dos elementos elásticos (54). Cada par de elementos de suporte (60) é usado para fixar cada um dos elementos elásticos (54) no lugar. Quando o par de estruturas de atuação (57) se deformam em resposta a um sinal elétrico, as primeira e segunda partes abas sobre o elemento elástico (54) com as estruturas de atuação (57) pressas nelas se inclinam, enquanto que o restante do elemento elático e, o espelho formado sobre a sua parte de topo, permanece plano, permitindio assim que o espelho reflita os feixes de luz.