DISPOSITIVO MICRODEFLETOR DE LUZ GALVANOMÉTRICO

IPC Classification

Abstract

Patente de invenção: "DISPOSITIVO MICRODEFLETOR DE LUZ GALVANOMETRICO". A presente invenção se refere a um dispositivo eletromecânico, fabricado com a tecnologia de microfabricação, capaz de alterar a direção de propagação de um feixe luminoso, tendo como principais aplicações seu uso em impressoras laser; leitoras de códigos de barras; fotocompositoras, dentre outros. Este dispositivo é constituído de uma base móvel (1), preferencialmente retangular, constituída de material rígido, preferencialmente silício monocristalino, que em uma das faces recebe um filme fino refletor de luz, prefencialmente um filme metálico, no qual é fotolitografado um espelho (3), preferencialmente retangular, e opcionalmente na mesma face em que está o espelho ou na outra face da plataforma móvel recebe bobinas planares (2), fotolitografadas em um filme condutor, preferencialmente um filme metálico, depositado na base móvel, sendo a extremidade interna das bobinas conectada ao respectivo terminal de alimentação (6) através de um "jumper" (7), dita base móvel (1) acoplada a uma base fixa (4), opcionalmente, ou através de barras de torção, e/ou através de fios flexíveis, e/ou através de fitas flexíveis e/ou através de membranas flexíveis (5), os quais, opcionalmente, podem ter a dupla função de suspensão da base móvel (1) e de condutores elétricos de união dos terminais de alimentação (6) da base móvel aos da base fixa, ou ainda, opcionalmente, podem servir de suspensão da base móvel (1) e de suporte para os condutores elétricos de união dos terminais de alimentação (6) da base móvel aos da base fixa.