DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO; MÉTODO PARA A FABRICAÇÃO DE UMA DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO

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Abstract

Patente de Invenção "DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO; MÉTODO PARA A FABRICAÇÃO DE UMA DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO". Uma disposição de M x N espelhos de película delgada móveis (51), para uso em um sistema de projeção óptico compreende uma matriz ativa, uma disposição de M x N estruturas atuadoras de película delgada, cada uma das estruturas atuadoras estando provida com uma primeira e segunda partes atuadoras (62a, 62b), cada uma das primeiras e segunda partes atuadoras incluindo pelo menos uma camada de película delgada (67) de um material indutor de movimento, um par de eletrodos (70, 71), cada um dos eletrodos estando no topo e fundo da camada de película delgada indutora de movimento, uma disposição de M x N membros de suporte (56), cada um dos membros de suporte (56) sendo usado para manter cada uma das estruturas atuadoras em posição por posicionamento em cantilever de cada uma das estruturas atuadoras e também para conectar eletricamente cada uma das estruturas atuadoras e a matriz ativa; e uma disposição de M x N camadas de espelhos para a reflexão de feixes de luz, cada uma das camadas de espelho incluindo também um primeiro lado, um segundo lado oposto e uma porção central localizada entre eles, na qual o primeiro lado e o segundo lado oposto de cada uma das camadas de espelho estão fixados no topo das primeiras e segundas partes atuadoras (62a, 62b) de cada uma das estruturas atuadoras, respectivamente, de tal forma que quando as primeira e segunda partes autuadoras (62a, 62b) em cada uma das estruturas atuadoras se deformam em reação ou resposta a um sinal elétrico aplicado entre os primeiro e segundo eletrodos (70, 71), a porção central da correspondente camada de espelho se inclina, permanecendo plana, dessa forma permitindo que toda a porção central reflita os feixes de luz, resultando em uma maior eficiência óptica.