DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO; MÉTODO PARA A FABRICAÇÃO DE UMA DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICO

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Abstract

Patente de Invenção "DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS; SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICA; MÉTODO PARA A FABRICAÇÃO DE UMA DISPOSIÇÃO DE M X N ESPELHOS DE PELÍCULA DELGADA MÓVEIS PARA USO EM UM SISTEMA DE PROJEÇÃO ÓPTICA". Uma disposição de M x N espelhos de película delgada móveis, para uso em um sistema de projeção óptica compreende uma matriz ativa (52), uma disposição de M x N estruturas atuadoras de película delgada (54), cada uma das estruturas atuadoras incluindo pelo menos uma camada de película delgada (67) de um material indutor de movimento, um par de eletrodos (70, 71), cada um dos eletrodos estando no topo (68) e fundo (69) da camada de película delgada indutora de movimento (67), uma disposição de M x N membros de suporte, cada um dos membros de suporte sendo usado para manter cada uma das estruturas atuadoras (54) em posição suportando cada uma das estruturas atuadoras e também para conectar eletricamente cada uma das estruturas atuadoras e a matriz ativa; uma disposição de M x N membros espaçadores (58), estando cada um dos membros espaçadores montados sobre a superfície de topo de cada uma das estruturas atuadoras (54) na extremidade distal da mesma e uma disposição de M x N camadas de espelhos (60) para refletir feixes de luz, cada uma das camadas de espelho (60) sobre os membros espaçadores (58) das estruturas atuadoras. Um sinal elétrico é aplicado através da camada de película delgada (67) do material indutor de movimento localizado entre o par de eletrodos (70, 71) em cada uma das estruturas atuadoras, causando uma deformação da mesma, que, por sua vez, inclinará a camada de espelho (60) fixada no membro espaçador da mesma.