MÉTODO E APARELHO DE GERAÇÃO DE UMA DESCARGA EM VAPORES CONTENDO PARTÍCULAS DE UM ELETRODO DE FREQÜÊNCIA DE RÁDIO E MÉTODO DE GERAÇÃO DE UMA DESCARGA AUTO-SUSTENTADA EM VAPORES CONTENDO PARTÍCULAS LIBERADAS POR UM ELETRODO DE FREQÜÊNCIA DE RÁDIO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Patente de invenção: UM MÉTODO E UM APARELHO PARA GERAR UMA DESCARGA EM VAPORES PRÓPRIOS DE UM ELETRODO DE FREQUÊNCIA DE RÁDIO PARA AUTO SUBLIMAÇÃO CATÓDICA (SPUTTERING) CONSTANTE DO CATODO E EVAPORAÇÃO DO ELETRODO". Um método e um aparelho para gerar uma descarga em vapores próprios de um eletrodo de frequência de rádio para auto-sublimação catódica (sputtering) e evaporação sustentada compreendendo as etapas de: (1) gerar uma descarga de frequência de rádio por um eletrodo de frequência de rádio de uma geometria oca em um gás auxiliar introduzido na área de descarga a uma pressão necessária para uma iniciação de descarga de catodo oco dentro do eletrodo oco causando sublimação catódica(sputtering) e/ou evaporação da superfície do eletrodo; (b) aumentar a potência de frequência do rádio para tal eletrodo oco para aumentar a densidade dos vapores contendo partículas liberadas do eletrodo pela sublimação catódica (sputtering) e/ou evaporação na descarga de catodo oco gerado por frequência de rádio a uma densidade na qual uma descarga auto-sustentada permanece depois que o influxo de tal gás auxiliar é fechado e o bombeamento do gás é ajustado a um valor necessário para a manutenção da descarga. O eletrodo de frequência de rádio oco pode servir como uma entrada de tal gás auxiliar.