SENSOR MAGNETORESISTIVO DE MULTIPLAS CAMADAS, MÉTODO DE FABRICAÇÃO DO MESMO E SISTEMA MAGNÉTICO DE ARMAZENAMENTO QUE O UTILIZA

IPC Classification

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Abstract

Um sensor magnetorresistivo de leitura incorpora um elemento sensor de múltiplas camadas formado de um ou mais elementos magnetorresistivos em uma ordenação planar, possuindo cada elemento magnetorresistivo uma estrutura de múltiplas camadas de pelo menos duas camadas ferromagnéticas separadas por uma camada não magnética. As camadas ferromagnéticas são acopladas de forma anti-ferromagnética por acoplamento magnetostático em bordas opostas das camadas ferromagnéticas. Uma camada de polarização separada do elemento sensor magnetorresistivo por uma camada de espaçamento proporciona um campo magnético para polarizar o elemento sensor magnetorresistivo em um ponto desejado sem sinal, para resposta linear. O elemento sensor magnetorresistivo é formado pela deposição alternada de camadas de material ferromagnético e de camadas de material não magnético em um substrato e, a seguir, por dotação de configuração da estrutura resultante, pelo emprego de técnicas fotolitográficas, a fim de proporcionar uma ordenação planar de elementos magnetorresistivos. Uma camada condutora é depositada sobre a ordenação, preenchendo os espaços que separam os elementos magnetorresistivos, a fim de proporcionar condutividade elétrica entre os elementos no plano da estrutura.