MÉTODO PARA INSPECIONAR O PRODUTO DE UM PROCESSO DE REVESTIMENTO

IPC Classification

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Abstract

MÃTODO DE DESGASEIFICAÃÃO PARA INSPECIONAR UMA SUPERFÃCIE REVESTIDA.Trata-se de um método para inspecionar o produto de um processo de revestimento. Neste método, a liberação de pelo menos um espécime volátil a partir da superfície revestida para o interior do espaço de gás adjacente à superfície revestida é medida e o resultado é comparado com o resultado quanto a pelo menos um objeto de referência medido sob as mesmas condições de teste. Dessa forma, a presença ou ausência do revestimento, e/ou uma propriedade física e/ou química do revestimento pode ser determinada. O método é útil para inspecionar quaisquer artigos revestidos, por exemplo, vasos. Sua aplicação na inspeção de revestimentos de PECVD feitos de precursores de organossilício, especialmente do revestimento de barreiras, também é revelada.