SISTEMA PARA MANUSEAR PEÇAS A SEREM TRABALHADAS EM CÂMARAS

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Abstract

SISTEMA PARA MANUSEAR PEÃAS A SEREM TRABALHADAS EM CÃMARAS. Expõem-se um sistema e processo para transportar peças a serem trabalhadas para uma câmara. O sistema de transporte (100) inclui: uma câmara de entrada e saída (101), uma câmara de transporte (105) e uma ou mais câmaras de processamento (102, 103, 104). A câmara de entrada e saída (101) é usada para aceitar uma ou mais peças a serem trabalhadas (109) processadas na câmara de processamento. A câmara de transporte (105) é usada para transportar uma peça a ser trabalhada (109) de uma câmara para outra câmara. A câmara de transporte (105) inclui um rotor (113). Quando carregando a peça a ser trabalhada (109) o rotor (113) gira até ficar alinhado com uma das câmaras de processamento. As câmaras de processamento (102, 103, 104) incluem um conjunto de eletrodos para fazerem bom uso de outro material de forma a processar a peça a ser trabalhada (109). Na câmara de processamento, uma peça a ser trabalhada (109) é colocada verticalmente entre um par de eletrodos. Cada peça a ser trabalhada (109) pode ser levantada com o prendedor (110) de peça a ser trabalhada. A peça a ser trabalhada (109) pode ser carregada em um prendedor (110) de peça a ser trabalhada ou carregada em uma pluralidade de prendedores (110) de peças de serem trabalhadas, fazendo com que o prendedor (110) de peça a ser trabalhada seja carregado no rolete (111) a fim de movimentar o prendedor (110) de peça a ser trabalhada de uma cãmara para outra câmara.