MICROPLASMAS EXCITADOS POR DESCARGAS ELÉTRICAS DE RÁDIO-FREQÜÊNCIA EM PRESSÃO ATMOSFÉRICA E SEU PROCESSO DE GERAÇÃO

IPC Classification

Abstract

MICROPLASMAS EXCITADOS POR DESCARGAS ELÉTRICAS DE RÁDIO-FREQÜÊNCIA EM PRESSÃO ATMOSFÉRICA E SEU PROCESSO DE GERAÇÃO. A presente invenção refere-se a microplasmas (6) excitados por ondas eletromagnéticas produzidas a partir de um gerador compacto de rádio-freqüência (gerador-RF) na faixa de freqUência de 144-146 MHz, operando entre 5W e 50W de potência (1), e seu respectivo processo de geração que é baseado em um circuito elétrico no qual um filtro acoplador de impedância do tipo-L (3) está conectado a eletrodos de estrutura coaxial (11 e 12), separados por um composto cerâmico (10), entre os quais se formam os campos elétricos associados com o mecanismo de ruptura dielétrica de uma mistura gasosa contendo um gás inerte e outro gás reativo, para a criação dos microplasmas. O fluxo da mistura gasosa (4) atravessa o eletrodo interno (12) do circuito elétrico utilizado no processo. Por fim, os microplasmas produzidos pelo processo da presente invenção são caracterizados por apresentar: portabilidade; tensões que variam entre 100V e 450V; correntes elétricas entre 0,9A e 3,5A; temperaturas medidas que variam de 350K a 3000K; e densidades eletrônicas observadas entre 0,1 x 1015 e 1,4 x 1015 elétrons por centímetro cúbico.