SISTEMA DE LASER PURGADO A GÁS E SEU MÉTODO

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Abstract

SISTEMA DE LASER PURGADO A GÁS E SEU MÉTODO. A presente invenção refere-se a um sistema de laser purgado a gás e um método para purgar a gás um sistema de laser que estão descritos. Uma modalidade do sistema de laser compreende um sistema de laser excimer cirúrgico retrativo que tem um percurso ótico de feixe de laser configurado para permitir a purga de uma porção de um volume que envolve o percurso ótico de feixe de laser com um gás, e um gerador de gás, operável para gerar o gás de purga e prover o gás para a porção de volume. A porção do volume pode ser o volume inteiro que envolve o percurso ótico de feixe de laser ou uma sua porção selecionada. O gás pode ser o gás nitrogênio e o gerador de gás pode ser um gerador de gás nitrogênio auto-contido como será conhecido daqueles versados na técnica. As modalidades podem ainda compreender um controlador para controlar o fluxo de gás de purga em resposta a sinais recebidos representativos de vários parâmetros, tais como a temperatura, o nível de oxigênio, a pressão, a umidade e a taxa de fluxo.