MÉTODO PARA FABRICAR CAMADAS ISOLANTES SOBRE PELO MENOS UMA PEÇA DE TRABALHO POR MEIO DE REVESTIMENTO Á VÁCUO

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Abstract

MÉTODO PARA SEPARAR CAMADAS ELETRICAMENTE ISOLANTES. A presente invenção refere-se a um método para a fabricação de camadas mal condutoras, especialmente isolantes sobre pelo menos uma peça de trabalho por meio de revestimento a vácuo, sendo operada uma descarga de arco elétrica entre pelo menos um anodo e um catodo de uma fonte em arco em atmosfera contendo gás reativo, e na superfície de um alvo conectado eletricamente ao catodo não ser gerado ou ser gerado apenas um pequeno campo magnético externo, basicamente perpendicular á superfície de alvo, para dar suporte ao processo de evaporação, sendo que o grau de novo revestimento da superfície através de outras fontes de revestimento é menor do que 10% , ou o campo magnético é gerado com um sistema magnético, que compreende pelo menos uma bobina axialmente polarizada com uma geometria semelhante ao perímetro do alvo.