MÉTODO PARA MONITORAR UM PLASMA E USO DESSE MÉTODO PARA DEPOSITAR UMA PELÍCULA SOBRE UM CORPO OCO DE PET

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Abstract

MÉTODO PAPA MONITORAR UM PLASMA E USO DESSE MÉTODO PARA DEPOSITAR UMA PELÍCULA SOBRE UM CORPO OCO DE PET. A invenção está relacionada a um método para monitorar a composição de um plasma, esse plasma sendo gerado a partir de precursores determinados para o depósito de uma película sobre um material polímero. Esse método envolve a recepção de intensidades luminosas emitidas pelo plasma e compreende: uma etapa de escolha de uma primeira faixa de comprimentos de ondas de referência, que e escolhida em um domínio do espectro de emissão do plasma no qual não pode existir nenhum sinal significativo de uma espécie química parasita, isto é, que não faz parte desses precursores determinados e que não está, portanto, normalmente presente no plasma e cuja presença no plasma influi sobre a natureza da película depositada; uma etapa de escolha de uma segunda faixa de comprimentos de ondas que é escolhida em um domínio do espectro de emissão do plasma no qual é capaz de existir um sinal significativo de uma espécie química parasita; uma etapa de aquisição simultânea das intensidades luminosas emitidas pelo plasma em cada uma das duas faixas de comprimentos de ondas escolhidos; e uma etapa de cálculo, com base nessas intensidades luminosas de pelo menos um coeficiente de monitoramento.