SENSOR MAGNÉTICO E MÉTODO PARA MANUFATURAR UM SENSOR MAGNÉTICO

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Abstract

SENSOR MAGNÉTICO E MÉTODO PARA MANUFATURAR UM SENSOR MAGNÉTICO. No sensor magnético de três eixos da presente Invenção, uma pluralidade de barras de elemento de efeito magnetorresistivo é conectada em série por meio de ímãs oblíquos para constituir elementos de efeito magnetorresistivo, e elementos de efeito magnetorresistivo do sensor de eixo X e aqueles do sensor de eixo Y são formados sobre uma superfície plana paralela à superfície plana do substrato. A direção de sensibilidade da magnetização é a direção vertical à direção longitudinal de cada uma das barras de elemento de efeito magnetorresístívo, e elementos de efeito magnetorresistivo do sensor de eixo X e aqueles do sensor de eixo Y são formados de tal modo que as direções de magnetização são ortogonais entre si. Além disso, elementos de efeito magnetorresistívo do eixo Z são formados sobre uma superfície inclinada da projeção projetada da superfície plana do substrato de tal modo que a direção de magnetização está dentro da superfície inclinada. O sensor de eixo z é provido de tal forma que a direção de sensibilidade é vertical à direção longitudinal da barra de elemento de efeito magnetorresistivo.