EQUIPAMENTO PARA APLICAÇÃO DE UM REVESTIMENTO POR PLASMA NA SUPERFÍCIE DE UM SUBSTRATO TUBULAR E SUBSTRATO TUBULAR ASSIM REVESTIDO

IPC Classification

Abstract

"EQUIPAMENTO PARA APLICAÇÃO DE UM REVESTIMENTO POR PLASMA NA SUPERFÍCIE DE UM SUBSTRATO TUBULAR E SUBSTRATO TUBULAR ASSIM REVESTIDO". A presente invenção descreve um equipamento para a deposição de revestimentos por plasma de radiofreqüência, útil para a aplicação direta de revestimentos a superfícies de substratos tubulares, tais como tubos e tambores metálicos. A presente invenção se refere também ao substrato tubular obtido com o auxílio do dito equipamento. O equipamento é dotado de dois eletrodos, uma fonte de radiofreqüência e flanges (22) com diversos orifícios para a conexão com válvulas de controle de gases (24), com o sistema de bombeamento; medidores de vácuo (25); entrada para o emissor de radiofreqüência (27) e entrada (28) para adaptação de sondas para análises. O volume interno do equipamento, o qual é delimitado pelo tubo (26) e pelos flanges (22) dos terminais do dito tubo, corresponde à câmara de reação. A superfície tubular interna a ser revestida é o primeiro eletrodo. Já o segundo eletrodo é posicionado internamente ao tubo, sendo disposto central e axialmente em relação à este. A aplicação do revestimento é executada localmente nos tubos, uma vez que o próprio tubo é utilizado como reator e eletrodo através da criação de um ambiente contendo plasma.