CONJUNTO DE ELETRODO DE GERAÇÃO DE PLASMA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

"CONJUNTO DE ELETRODO DE GERAÇÃO DE PLASMA". Um conjunto de geração de descarga de plasma incandescente e/ou de descarga de barreira dielétrica (1) que compreende pelo menos um par de eletrodos substancialmente espaçados eqüidistantes (2), o espaçamento entre os eletrodos sendo adaptado para a formação de uma zona de plasma (8) quando da introdução de um gás de processo e permitindo a passagem, quando requerido, de um precursor(es) gasoso(s), líquido(s) e/ou sólido(s), caracterizado pelo fato de pelo menos um dos eletrodos (2) compreender um alojamento (20) que tem uma parede interna (5) e uma externa (6), onde a parede interna (5) é formada a partir de um material dielétrico não poroso, e cujo alojamento (20) substancialmente retém pelo menos um material condutivo eletricamente substancialmente não metálico.