APARELHO MONITORADOR PARA MEDIDA DIRETA E MULTI-ANGULAR DO ÍNDICE DE REFRAÇÃO, MÉTODO E USO DO MESMO

IPC Classification

Abstract

"APARELHO MONITORADOR PARA MEDIDA DIRETA E MULTI-ANGULAR DO ÍNDICE DE REFRAÇÃO, MÉTODO E USO DO MESMO". É descrito um aparelho monitorador para medida direta e multi-angular do indice de refração durante a evolução temporal e/ou espacial no processo de fabricação de uma amostra, o aparelho compreendendo um módulo constituído de uma base (1) com parte articulada sobre a qual são montados pelo menos uma fonte luminosa (7), que emite luz que é polarizada ao passar por pelo menos um polarizador de luz (8), a luz sendo expandida e colimada ao passar por lentes (3) e (4) convergentes, por uma fenda (9) e por uma lente (5) convergente, o cone de luz apresentando variação angular adequada ao intervalo varrido, dito cone sendo então focalizado sobre a amostra (11) adaptada a um suporte (10) dotado de sistema de determinação angular, o cone de luz sendo coletado e colimado por uma lente (6) convergente na direção de um detetor (12), sendo que para cada ângulo de incidência da luz, o cone de luz é coletado e colimado por uma lente (6) convergente na direção de um detetor (12), sendo que para cada ângulo de incidência da luz, o detetor (12) detecta a refletância, os valores de refletância nos diversos ângulos sendo comparados como padrão de referência de refletância, pelo que é possível detectar a evolução temporal da refletância da amostra (11). É igualmente descrito o método de determinação do índice de refração de uma amostra resultante d e um processo utilizando o aparelho da invenção, bem como os usos do dito aparelho em processos industriais.