DISPOSITIVO PARA APLICAR, EM USO, RADIAÇÃO DE MICROONDAS ELETROMAGNÉTICA EM UMA CAVIDADE DE PLASMA, E, APARELHO E MÉTODO PARA DEPOSITAR, UMA OU MAIS CAMADAS DE VIDRO SOBRE O LADO INTERNO DE UM TUBO DE VIDRO OCO DISPOSTO NA CAVIDADE DE PLASMA DO DISPOSITIVO

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Abstract

"DISPOSITIVO PARA APLICAR, EM USO, RADIAÇÃO DE MICROONDAS ELETROMAGNÉTICA EM UMA CAVIDADE DE PLASMA, E, APARELHO E MÉTODO PARA DEPOSITAR, UMA OU MAIS CAMADAS DE VIDRO SOBRE O LADO INTERNO DE UM TUBO DE VIDRO OCO DISPOSTO NA CAVIDADE DE PLASMA DO DISPOSITIVO". A invenção relaciona-se a um dispositivo para aplicar, em uso, radiação de microondas eletromagnética em uma cavidade de plasma, qual cavidade de plasma está presente dentro de um alojamento, sendo substancialmente simétrica cilindricamente sobre um primeiro eixo, e que inclui uma parede cilíndrica provida com uma fenda circunferencial, dita cavidade de plasma estando em comunicação, por dita fenda, com uma primeira extremidade de um guia de microondas alongado tendo um segundo eixo longitudinalmente se estendendo, dito dispositivo estando em comunicação em uso com meio de geração de microondas pela outra extremidade de dito guia de microoondas, no qual a radiação de microondas eletromagnética sendo gerada pode incluir vários modos. O objetivo da invenção é prover um aplicador de microoondas como referido na introdução, por meio do qual um plasma estável tendo as propriedades geométricas vantajosas acima mencionadas pode ser gerado e mantido por um lado, e que além disso não tem qualquer restrição com respeito às suas dimensões de construção. A fim de realizar este objetivo, o aplicador de microondas é caracterizado pelo fato de que o dispositivo inclui meio que, em uso, gera a radiação de microondas na fenda, qual radiação de microondas tem só uma distribuição de campo eletromagnético pelo menos em uma direção perpendicularmente à direção de propagação. Como as propriedades da radiação de microondas eletromagnética não mais constituem um fator desconhecido e imprevisível, um plasma mais estável e geometricamente homogênea é gerado na cavidade de plasma.