DISPOSITIVOS SENSORES DE PRESSÃO E DE FONTES DE ELÉTRONS A BASE DE CARBONO E DISPOSITIVOS CONTROLADOS POR PRESSÃO

IPC Classification

Abstract

"PROCESSO DE OBTENÇÃO DE SENSORES DE PRESSÃO E FONTES DE ELÉTRONS À BASE DE CARBONO E CONTROLADOS POR PRESSÃO, E MATERIAL DE CARBONO OBTIDO PARA CONFECÇÃO DOS DISPOSITIVOS". Processo de obtenção de novos dispositivos eletro-eletrônicos, em geral, especialmente sensores de pressão e fontes de elétrons controlados por pressão e outras aplicações potenciais, onde os dispositivos são confeccionados com um novo material a base de carbono, chamado de carbono amorfo nanoestruturado, cujas propriedades eletrônicas, tais como a emissão de campo e a condutividade elétrica, são dependentes da pressão, e onde os dispositivos são compostos por filmes de carbono amorfo nanoestruturado ou nC a-C, os quais podem ser preferencialmente preparados pela técnica de deposição conhecida como IBAD (Ion Beam Assisted Deposition), ou deposição assistida por feixe de íons usando duas fontes de íons to tipo Kauffman, e processo de obtenção de material carbono amorfo nanoestruturado ou nC a-C.