PROCESSO DE DEPÓSITO DE REVESTIMENTO POR PLASMA, DISPOSITIVO DE EXECUÇÃO DO PROCESSO E REVESTIMENTO OBTIDO ATRAVÉS DE UM TAL PROCESSO

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Abstract

"PROCESSO DE DEPÓSITO DE REVESTIMENTO POR PLASMA, DISPOSITIVO DE EXECUÇÃO DO PROCESSO E REVESTIMENTO OBTIDO ATRAVÉS DE UM TAL PROCESSO". A invenção refere-se notadamente a um processo que emprega um plasma de baixa pressão para depositar um revestimento sobre um objeto a tratar, do tipo no qual o plasma é obtido por ionização parcial, sob a ação de um campo eletromagnético, de um fluido de reação injetado sob baixa pressão dentro de uma zona de tratamento, caracterizado pelo fato de que o processo compreende pelo menos duas etapas: uma primeira etapa no decorrer da qual o fluido de reação é injetado dentro da zona de tratamento com uma primeira vazão e sob uma pressão dada; e uma segunda etapa no decorrer da qual o mesmo fluido de reação é injetado dentro da zona de tratamento com uma segunda vazão inferior à primeira vazão.