SISTEMA INTEGRADO PARA PRODUZIR DIÓXIDO DE SILÍCIO DE ALTA PUREZA, PROCESSO PARA PRODUZIR UM REVESTIMENTO DE DIÓXIDO DE SILÍCIO PURO SOBRE UM SUBSTRATO, MÉTODO PARA PREPARAR DIÓXIDO DE SILÍCIO DE ALTA PUREZA, E, SISTEMA INTEGRADO PARA A DISTRIBUIÇÃO DE OXIGÊNIO DE ALTA PUREZA PARA UM FORNO DE OXIDAÇÃO DE SILÍCIO E PARA O USO DE OXIGÊNIO DE ALTA PUREZA PARA PREPARAR DIÓXIDO DE SILÍCIO DE ALTA PUREZA

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Priority claims

Abstract

"SISTEMA INTEGRADO PARA PRODUZIR DIÓXIDO DE SILÍCIO DE ALTA PUREZA, PROCESSO PARA PRODUZIR UM REVESTIMENTO DE DIÓXIDO DE SILÍCIO PURO SOBRE UM SUBSTRATO, MÉTODO PARA PREPARAR DIÓXIDO DE SILÍCIO DE ALTA PUREZA, E, SISTEMA INTEGRADO PARA A DISTRIBUIÇÃO DE OXIGÊNIO DE ALTA PUREZA PARA UM FORNO DE OXIDAÇÃO DE SILÍCIO E PARA O USO DE OXIGÊNIO DE ALTA PUREZA PARA PREPARAR DIÓXIDO DE SILÍCIO DE ALTA PUREZA". Um sistema integrado para produzir dióxido de silício de alta pureza compreendendo: uma fonte (2) de um gás de alimentação contendo oxigênio, uma célula de membrana transportadora de oxigênio (1) contendo uma membrana de transporte seletivo de oxigênio (15), a citada membrana (15) sendo efetiva em temperatura elevada para separar oxigênio no citado gás de alimentação pelo transporte de íons oxigênio do citado gás de alimentação através da citada membrana (15) para formar um permeato de oxigênio purificado, ao mesmo tempo retendo um retido contendo impureza, empobrecido em oxigênio, sobre um lado catódico da mesma, uma passagem (11) da citada fonte (2) para o lado catódico da citada célula de membrana (1), uma fonte de silício (25), e um forno de oxidação de silício (5), em comunicação com um lado anódico da citada célula de membrana (1), para reação do citado permeato de oxigênio purificado com silício em uma alta temperatura de reação, com o propósito de produzir a citada reação de silício de pureza elevada, com o objetivo de produzir o citado dióxido de silício de alta pureza.