APARELHO E MÉTODO DE ELETRODEPOSIÇÃO

IPC Classification

Priority claims

Abstract

"APARELHO E MÉTODO DE ELETRODEPOSIÇÃO". Um único canal de fornecimento é formado por, e entre, a parede interna (2) e o defletor (3). O eletrólito (5) é bombeado para o interior do canal (1) e é direcionado por sobre o substrato (4) sendo um cátodo mantido a -10 volts. A parte superior da parede interna (2) do canal (1) forma o ânodo de tal modo que o eletrólito é forçado entre o substrato e a superfície horizontal superior do ânodo (6). Um segundo defletor (7) é fornecido de modo a auxiliar no coletamento e na remoção do eletrólito (5) após o impingimento com o substrato (4), possivelmente para reutilização. O contato entre o eletrólito (5) e o substrato (4) é otimizado fornecendo o eletrólito com um movimento de turbilhonamento conforme ele passa pelo canal (1). O ânodo (6) é uma barra condutora sólida (10), alternativamente ele é formado de barras sólidas (11) ou de tubos (12).