MÉTODO DE FABRICAÇÃO DE UMA FERRAMENTA DE CORTE REVESTIDA DE AL2O3, ATRAVÉS DA TÉCNICA DE DEPÓSITO FÍSICA A VAPOR (PVD)

IPC Classification

Priority claims

Abstract

"MÉTODO DE FABRICAÇÃO DE UMA FERRAMENTA DE CORTE REVESTIDA DE Al~ 2~O~ 3~, ATRAVÉS DA TÉCNICA DE DEPOSIÇÃO FÍSICA A VAPOR (PVD)" . A presente invenção se refere a um processo para produção de uma ferramenta de corte revestida, consistindo de um revestimento e um substrato, em que pelo menos uma camada refratária que consiste de -Al~ 2~O~ 3~ é depositada mediante crepitação reativa de magnétron sobre um substrato móvel em vácuo, através da crepitação pulsada de magnétron em uma mistura de um gás nobre e um gás reativo, a uma freqüência de pulso estabelecida para 10 a 100 kHz. A deposição ocorre com uma velocidade de pelo menos 1 nm/s com referência a um substrato disposto de modo estacionário, com uma densidade de energia em um tempo médio de magnétron alvo estabelecida para pelo menos 10 W/cm^ 2^. A temperatura do substrato se encontra na faixa de 400 a 700° C e o fluxo de partículas que se chocam sobre cada substrato individual é ciclicamente interrompido.