DEFLEXÃO DE JATO DE GÁS EM SISTEMAS PRESSURIZADOS

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Abstract

DEFLEXÃO DE JATO DE GÁS EM SISTEMAS PRESSURIZADOS. A presente invenção refere-se a artigos de fabricação, sistemas, e métodos que utilizam uma placa de deflexão de gás em sistemas de baixo a ultra-alto vácuo que usam bombeamento diferencial (por exemplo, aceleradores de partícula de alvo de gás, espectrômetros de massa, e portas de envio sem janelas). Em determinadas modalidades, a placa de deflexão de gás é configurada para ser posicionada entre regiões de pressão mais alta e mais baixa em um sistema pressurizado, em que a placa de deflexão de gás tem um canal através da mesma de moldado e/ou angulado de modo que o jato de gás que se move através do canal entra na região de menor pressão em um ângulo deslocado a partir do eixo vertical da placa de deflexão de gás e/ou o canal. Em outras modalidades, um componente de deflexão de jato é utilizado de modo que o jato de gás atinge tal componente de deflexão de jato e é redirecionado em outro direção.