ESTRUTURA SEMICONDUTORA E MÉTODO PARA FABRICAÇÃO DE UMA ESTRUTURA SEMICONDUTORA

IPC Classification

Abstract

A presente invenção refere-se a dispositivos semicondutores não planos que têm aletas autoalinhadas com camadas de bloqueio de topo e métodos para fabricar dispositivos semicondutores não planos que têm aletas autoalinhadas com camadas de bloqueio de topo. Por exemplo, uma estrutura semicondutora inclui uma aleta semicondutora disposta acima de um substrato semicondutor e que tem uma superfície de topo. Uma camada de isolamento é disposta em cada lado da aleta se-micondutora e rebaixada abaixo da superfície de topo da aleta semi-condutora para fornecer uma porção protuberante da aleta semicondu-tora. A porção protuberante tem paredes laterais e a superfície de topo. Uma camada de bloqueio de porta tem uma primeira porção disposta em pelo menos uma porção da superfície de topo da aleta semicondutora, e tem uma segunda porção disposta em pelo menos uma porção das paredes laterais da aleta semicondutora. A primeira porção da camada de bloqueio de porta é contínua com, porém, mais espessa que, a segunda porção da camada de bloqueio de porta. Uma pilha de porta é disposta na primeira e na segunda porções da camada de bloqueio de porta.