CONJUNTO DE BARCOS DE WAFER E EQUIPAMENTO DE PROCESSO DE SEMICONDUTORES

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Abstract

CONJUNTO DE BARCOS DE WAFER E EQUIPAMENTO DE PROCESSO DE SEMICONDUTORES. A presente divulgação fornece um conjunto de barcos de wafer e um equipamento de processo de semicondutores, incluindo múltiplos barcos de wafer, que são usados para serem conectados eletricamente em sequência ao longo de um eixo da câmara de processo em uma câmara de processo. Pelo menos um par de barcos de wafer adjacentes possui um pino de barco condutor dianteiro e um pino de barco condutor traseiro na base de cada um dos lados opostos, respectivamente. O topo de um dos pinos de barco condutor dianteiros e do pino de barco condutor traseiro possui uma saliência de contato, e a base do outro pino de barco condutor dianteiro e do pino de barco condutor traseiro possui uma ranhura de contato, que entra em contato com a saliência de contato para conectar eletricamente os barcos de wafer adjacentes. O barco de wafer adjacente à abertura em um lado da câmara de processo é usado para conectar eletricamente a um componente de fonte de alimentação para receber sinais de radiofrequência fornecidos pelo componente de fonte de alimentação. A presente divulgação conecta eletricamente barcos de wafer adjacentes sobrepondo o pino de barco condutor traseiro e o pino de barco condutor dianteiro, o que não apenas permite a introdução de sinais de radiofrequência de um lado e a transmissão de sinais de radiofrequência entre barcos de wafer, mas também garante o desempenho do processo de semicondutores e a capacidade de produção da máquina.