Invention Patent GERENCIAMENTO DE CONEXÕES CONDUTORAS PARA DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES de YANGTZE MEMORY TECHNOLOGIES CO., LTD. — IPC H10B 43/50. Drawing published by the INPI in the Industrial Property Gazette.
MÉTODO, DISPOSITIVO SEMICONDUTOR, E SISTEMA PARA GERENCIAMENTO DE CONEXÕES CONDUTORAS PARA DISPOSITIVOS SEMICONDUTORES. A presente invenção refere-se a sistemas, dispositivos e métodos para gerenciar conexões condutoras para dispositivos semicondutores. Em um aspecto, um método inclui: a provisão de uma estrutura integrada que inclui uma estrutura de arranjo (130) em uma primeira região (101) e uma estrutura de conexão condutora (150) em uma segunda região (103) adjacente à primeira região, pelo menos uma porção de pelo menos uma camada de polisilício que fica em cima da estrutura de conexão condutora; a causticação de pelo menos uma porção de pelo menos uma camada de polisilício para expor uma ou mais conexões condutoras (152a, 152b) na estrutura de conexão condutora; a deposição de um material isolante (170) sobre a estrutura de arranjo e a estrutura de conexão condutora; e formação de acesso de interconexão verticais condutoras (VIAs, 154a, 154b, 154c) através do material isolante para ficar em contato com uma ou mais conexões condutoras e uma camada condutora na estrutura de arranjo.
Prosecution history
Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).
