SISTEMA DE PRODUÇÃO DE ÍONS COM COLETA DE ÍONS EFICIENTE

IPC Classification

Priority claims

Abstract

SISTEMA DE PRODUÇÃO DE ÍONS COM COLETA DE ÍONS EFICIENTE. Um sistema inclui uma fonte de íons configurada para gerar íons tendo uma primeira polaridade, um ou mais eletrodos de extração configurados para extrair os íons da fonte de íons como um feixe de íons tendo uma energia de extração, uma fenda ou abertura de resolução de massa configurada para selecionar um isótopo desejado do feixe de íons de modo que um feixe de íons isotópicos desejado passe através da fenda ou abertura de resolução de massa, um alvo posicionado em relação à fenda ou abertura de resolução de massa de modo que o feixe de íons isotó-picos desejado seja incidente no alvo e uma fonte de voltagem acoplada ao alvo e configurada para manter o alvo em uma primeira voltagem tendo a primeira polaridade. A primeira voltagem causa uma redução da energia de extração à medida que o feixe de íons isotópicos desejado se aproxima do alvo para minimizar a pulverização catódica e maximizar coleta dos íons no alvo para reconstituir um material ionizado.