DISPOSITIVO DE POSICIONAMENTO PARA UM SISTEMA DE POSICIONAMENTO

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Abstract

DISPOSITIVO DE POSICIONAMENTO PARA UM SISTEMA DE POSICIONAMENTO. A invenção refere-se a um dispositivo de posicionamento para um sistema de posicionamento para posicionar um primeiro objeto em relação a um segundo objeto em um sistema de referência XY. O dispositivo de posicionamento compreende um arranjo de mola (130) que compreende pelo menos uma primeira porção de mola (132) acoplada em série a pelo menos uma segunda porção de mola (134), e a primeira porção de mola (132) é configurada para defletir-se em uma direção Z positiva (+Z) em operação e a segunda porção de mola (134) é configurada para defletir-se em uma direção Z negativa (-Z) em operação para compensar pela deflexão da primeira porção de mola (132) na direção Z positiva. Portanto, é fornecida precisão melhorada no posicionamento do primeiro objeto em relação ao segundo objeto.