TÉCNICAS DE FABRICAÇÃO DE POÇO DE AMOSTRA E ESTRUTURAS PARA DISPOSITIVOS DE SENSOR INTEGRADO

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Abstract

"TÉCNICAS DE FABRICAÇÃO DE POÇO DE AMOSTRA E ESTRUTURAS PARA DISPOSITIVODESENSORINTEGRADO". A presente invenção refere-se a métodos de formação de um dispositivo integrado e, em particular, a formação de um ou mais poços de amostra em um dispositivo integrado. Os métodos podem envolver a formação de uma pilha de metal sobre uma camada de revestimento, formação de uma abertura na pilha de metal, formação do primeiro material separador dentro da abertura e formação de um poço de amostra removendo parte da camada de revestimento para estender uma profundidade da abertura na camada de revestimento. No poço de amostra resultante, pelo menos uma porção do primeiro material separador está em contato com pelo menos uma camada da pilha de metal.