Petição de recurso
#12.2
Recurso: 870240001145 - 5/1/2024
01/16/2024
RPI 2767
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Official data from INPI
PROCESSO DE PADRONIZAÇÃO QUÁDRUPLO AUTO-ALINHADO NOVO PARA PASSO DE ALETA ABAIXO DE 20NM
Em AnáliseInvention PatentPCT · US2017045966
Application data
Number
112019005093Type
Invention Patent
Filing
08/08/2017
Publication
06/04/2019
PCT
US2017045966 Progress at the INPI
Under appeal- Filing08/08/17
- Publication06/04/19
- Examination
- Allowance
- Grant
- In force
The application is under appeal: the INPI has yet to review the decision.
Latest action published by the INPI: 01/16/2024. We update with every new RPI gazette, published weekly.
Applicants and inventors
Applicants
Q. I. (pessoa física)
US
Inventors
C. Y. (pessoa física)
US
D. Y. (pessoa física)
US
J. X. (pessoa física)
US
K. R. (pessoa física)
US
S. S. (pessoa física)
US
Technical data
IPC Classification
Priority claims
US
15/271,043 · 09/20/2016
Abstract
Um método de produzir um dispositivo FinFET com passo de aleta menor que 20 nm é apresentado. De acordo com algumas modalidades, aletas são depositadas em espaçadores de parede lateral, que eles próprios são depositados em mandris. Os mandris podem ser formados por processos litográficos enquanto as aletas e espaçadores de parede lateral formados por tecnologias de deposição.
Prosecution history
Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).
Indeferimento
#9.2
12/05/2023
RPI 2761
Conhecimento de parecer técnico
#7.1
06/06/2023
RPI 2735
Parecer de pré-exame
#6.23
07/12/2022
RPI 2688
Adição na publicação
#15.35
09/21/2021
RPI 2646
Notificação de entrada na fase nacional - PCT
#1.3
06/04/2019
RPI 2526
Alteração de dados cadastrais
#1.1
03/26/2019
RPI 2516
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