DISPOSITIVO DE PLASMA CONDUZIDO POR MÚLTIPLA FASE ALTERNADA OU CORRENTE ELÉTRICA PULSADA E MÉTODO DE PRODUZIR UM PLASMA

IPC Classification

Priority claims

Abstract

Uma fonte de plasma e método de produção de plasma são fornecidos. A fonte de plasma inclui pelo menos três catodos ocos, incluindo um primeiro catodo oco, um segundo catodo oco e um terceiro catodo oco, tendo cada catodo oco uma região de saída de plasma. A fonte de plasma inclui uma fonte de energia capaz de produzir ondas de saída múltiplas, incluindo uma primeira onda de saída, uma segunda onda de saída e uma terceira onda de saída, em que a primeira onda de saída e a segunda onda de saída estão fora de fase, em que e a terceira onda de saída estão fora de fase e a primeira onda de saída e a terceira onda de saída estão fora de fase. Cada catodo oco é eletricamente conectado à fonte de energia de tal forma que o primeiro catodo oco é eletricamente conectado à primeira onda de saída, o segundo catodo oco é eletricamente conectado à segunda onda de saída, e o terceiro catodo oco é eletricamente conectado ao terceiro onda de saída. A corrente elétrica flui entre os pelo menos três catodos ocos que estão fora da fase elétrica. A fonte de plasma é capaz de gerar um plasma entre os catodos ocos.