Concessão da patente
#16.1
20 (vinte) anos contados a partir de 07/03/2013, observadas as condições legais
08/03/2021
RPI 2639
Application data
Number
112014023079Type
Filing
Publication
PCT
US2013029605 The patent was granted on 08/03/2021 and is in force until 03/07/2033. Until then, no one may make, use or sell the invention in Brazil without the owner's authorisation.
Protection valid until:03/07/2033
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Applicants
QUANTUM INNOVATIONS, INC.
US
Inventors
C. L. (pessoa física)
US
N. K. (pessoa física)
US
IPC Classification
Priority claims
US
13/653,352 · 10/16/2012
US
61/613,366 · 03/20/2012
Abstract
ÿþResumoSistema e método de deposição de vaporÉ descrito um sistema de deposição que inclui um gabinete do sistema (122) tendo um interior do gabinete (124), um conjunto de transferência (146) tendo um trilho de transferência (147) geralmente inclinado que se estende através do interior do gabinete (124), uma pluralidade de câmaras de processamento (185) conectadas pelo trilho de transferência (147), um controlador (222) que faz interface com as câmaras de processamento (185), e pelo menos um conjunto de suporte (156) de montagem suportado pelo trilho de transferência (147), adaptado para conter um substrato (182). O conjunto de suporte (156) se desloca ao longo do trilho de transferência (147) sob a influência da gravidade. Também é descrito um método de deposição
Publications in the Brazilian Industrial Property Gazette (RPI).
#16.1
20 (vinte) anos contados a partir de 07/03/2013, observadas as condições legais
08/03/2021
RPI 2639
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