DISPOSITIVO TRANSDUTOR DE ULTRASSOM; E MÉTODO DE FABRICAÇÃO DE UM DISPOSITIVO TRANSDUTOR DE ULTRASSOM

IPC Classification

Priority claims

Abstract

DISPOSITIVO TRANSDUTOR DE ULTRASSOM; E MÉTODO DE FABRICAÇÃO DE UM DISPOSITIVO TRANSDUTOR DE ULTRASSOM.A presente invenção se refere a um dispositivo transdutor de ultrassom que compreende pelo menos uma célula cMUT (30) para a transmissão e/ou a recepção de ondas de ultrassom, e a célula cMUT (30) compreende uma membrana celular (30a) e uma cavidade (30b) sob a membrana celular. O dispositivo compreende ainda um substrato (10) com um primeiro lado (10a) e um segundo lado (10b), e pelo menos uma célula cMUT (30) disposta no primeiro lado (10a) do substrato (10). O substrato (10) compreende a camada de base do substrato (12) e pluralidade de trincheiras adjacentes (17a) que se estendem para a camada de base de substrato (10) em uma direção ortogonal aos lados do substrato (10a, 10b), em que os espaçadores (12a) são formados, cada um, entre trincheiras adjacentes, (17a). O substrato (10) compreende ainda uma cavidade de conexão (17b) que conecta as trincheiras (17a), e que se estende em uma direção paralela aos lados do substrato (10a, 10b), as trincheiras (17a) e a cavidade de conexão (17b) em conjunto formam uma cavidade de substrato (17) no substrato (10). O substrato 10 compreende ainda uma membrana de substrato (23) que cobre a cavidade do substrato (17). A cavidade do substrato (17) está localizada em uma região do substrato (10) sob a célula cMUT (30). A presente invenção se refere ainda a um método de fabricação do dito dispositivo transdutor de ultrassom.