MÉTODO DE MEDIÇÃO DE DISTÂNCIA, ARRANJO DE MEDIÇÃO DE DISTÂNCIA INTERFEROMÉTRICA E DISPOSITIVO DE MEDIÇÃO PARA MEDIR SUPERFÍCIES

IPC Classification

Priority claims

Abstract

RESUMOPatente de Invenção: "MÉTODO DE MEDIÇÃO DE DISTÂNCIA INTERFEROMÉTRICA PARA MEDIR SUPERFÍCIES E ARRANJO DE MEDIÇÃO".A presente invenção refere-se a um método de medição de distância (13). Um feixe de laser, cujo comprimento pode ser ajustado em uma faixa de comprimento de onda, modulando a frequência da fonte de laser (1), é gerado com um comprimento de coerência, para prover um feixe de medição (MS), e sendo emitido na superfície (13), localizada dentro de uma faixa de distância especificada, como feixe de medição. O feixe de medição (MS), refletido disperso pela superfície (13), é recebido de novo e usado para medir por interferometria a distância a um ponto de referência à superfície (13), onde um braço interferométrico de medição e referência é usado. A faixa de distância especificada fica pelo menos parcialmente fora do comprimento de coerência e o feixe de medição é separado em duas porções de feixe. Uma das porções de feixe é temporariamente atrasada com respeito à outra porção, de modo que uma diferença de trajetória ótica causada pelo atraso corresponda à diferença de trajetória ótica que corresponde a uma distância na faixa de distância especificada, mais ou menos o comprimento de coerência do laser.20084566v1