MICROFILTRO, MÉTODO DE FORMAR UM MICROFILTRO E MÉTODO DE FILTRAÇÃO

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Abstract

MICROFILTRO, MÉTODO DE FORMAR UM MICROFILTRO E MÉTODO DE USAR UM MICROFILTRO. A presente invenção se refere a um microfiltro compreendendo uma camada de polímero formada de filme seco fotodefinível e uma pluralidade de aberturas, cada uma se estendendo através da camada de polímero. Também é revelado um método de formar um microfiltro. O método inclui prover uma primeira camada de filme seco fotodefinível baseado em epóxi, disposta em um substrato; expor a primeira camada a energia através de uma máscara para formar um padrão, definido pela máscara, na primeira camada de filme seco; formar, a partir da primeira camada de filme seco, uma camada de polímero possuindo uma pluralidade de aberturas se estendendo através desta, a pluralidade de aberturas possuindo uma distribuição definida pelo padrão; e remover a camada de polímero de substrato.